アッシング装置
| メーカー | KOKUSAI ELECTRIC |
|---|---|
| 型番 | RAM-6500R |
| 年式 | 2002.3 |
| カテゴリー | 半導体中古装置（前工程）, エッチング装置, アッシング装置 |
| シリアル番号 | 7635 |
| 仕様（日本語） | ウェハーサイズ：6インチ プロセス方法：1バッチ50枚、一括処理 ■処理条件 ●RFパワー ：800~1000〔W〕 ●圧力 ：0.8～1.0〔Torr〕 ●ガス流動 ：O2＝600～1000〔sccm〕 ●温度設定 ：50～80〔℃〕 電源： φ1 AC100V 15A 50/60Hz PC φ3 AC200V 20A 50/60Hz RF φ3 AC200V 30A 50/60Hz PUMP φ1 AC100V 30A 50/60Hz HEATER 本体寸法：600×1300×1790mm ラック寸法：570×700×1435mm 本体重量：180kg 仕様書、取説書有り |
| 管理番号 | M001-0002 |
在庫確認・ご質問などお気軽に問い合わせください
掲載していない機器もお探します！