プラズマリアクター

メーカー	ヤマト科学
型番	PR510
カテゴリー	半導体中古装置（前工程）, エッチング装置, アッシング装置
シリアル番号	56700018
仕様（日本語）	方式：DP方式バレル型制御部高周波出力：Max.500W 制御部発振周波数:13.56MHz 制御部同調方式:オートチューニング反応部反応槽:石英製　φ215×305mm 反応部反応ガス系:2系統（O2/CF4）反応部制御系:タッチパネルからの自動シーケンス反応部配管系材質:SUS、テフロン内寸法（径×奥行）:φ215×305mm 外寸法（幅×奥行×高さ）:520×630×760mm 電源容量:三相AC200V 8A ブレーカ容量および電源設備容量　15A 重さ:70kg ドライポンプ　型式：PK250
管理番号	K077-0002

商談中

同じカテゴリの中古機器

Products

在庫確認・ご質問などお気軽に問い合わせください
掲載していない機器もお探します！