ウェーハ表面検査装置
| メーカー | TOPCON |
|---|---|
| 型番 | WM-7S |
| 年式 | 2017 |
| カテゴリー | 検査・分析装置, 異物・欠陥検査装置（ごみ検査装置） |
| ウェハーサイズ | 4inch, 6inch, 8inch |
| 仕様（日本語） | 10０ｍｍ/150mm/200mm対応可能 OS:Windows７ 最高検出感度：0.079μｍ 寸法：W860ｘＤ900ｘＨ1650ｍｍ 重量：約５００ｋｇ 単相ＡＣ２００Ｖ、50/60Ｈｚ |
| 管理番号 | K061-0001 |
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