ドライポンプ
| メーカー | 樫山工業 |
|---|---|
| 型番 | NeoDry36E-3 |
| 年式 | 2015 |
| カテゴリー | ドライエッチング装置, ドライポンプ |
| シリアル番号 | 152DN91797 |
| 管理番号 | K059-0005-1 |
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