RF電源
| メーカー | アドテック |
|---|---|
| 型番 | TX10-7000-08-BL |
| カテゴリー | 真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 電源, RF電源（高周波電源） |
| シリアル番号 | 10351100002 |
| 仕様（日本語） | 3~ AC200-240V 50-60Hz 1.7kVA 1000W(13.56MHz) 13kg(29lbs) |
| 管理番号 | K058-0163 |
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