ロボットコントローラ
| メーカー | ヒラタ |
|---|---|
| 型番 | HNC‑DS56A4‑3 |
| 年式 | 2001.10 |
| カテゴリー | 真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, コントローラー |
| シリアル番号 | 20781 |
| 仕様（日本語） | 重量：１５kg 1 PHASE/AC 200V 50/60Hz 5A |
| 管理番号 | K058-0155 |
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