RF電源
| メーカー | パール工業 |
|---|---|
| 型番 | RP-300-2M-C |
| 年式 | 1997.9 |
| カテゴリー | 真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 電源, RF電源（高周波電源） |
| シリアル番号 | 9731B0757 |
| 仕様（日本語） | 電圧：２００V 電流：４．５A 発振周波数：２MHｚ 高周波出力：３００Ｗ |
| 管理番号 | K058-0153 |
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