超高感度のヘリウムリークディテクター

メーカーアルバック
型番 HELIOT 301
年式1998.8
カテゴリー検査・分析装置
シリアル番号3702
仕様(日本語)検出感度:最大で 1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s
測定方式:質量流量/差圧方式
圧力範囲:およそ 0.01 〜 1000 Torr
動作温度:最大 50℃
重量:39㎏

管理番号 K049-0006
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