超高感度のヘリウムリークディテクター
メーカー | アルバック |
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型番 | HELIOT 301 |
年式 | 1998.8 |
カテゴリー | 検査・分析装置 |
シリアル番号 | 3702 |
仕様(日本語) | 検出感度:最大で 1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s 測定方式:質量流量/差圧方式 圧力範囲:およそ 0.01 〜 1000 Torr 動作温度:最大 50℃ 重量:39㎏ |
管理番号 | K049-0006 |
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