ヘリウムリークディテクター
| メーカー | アルバック |
|---|---|
| 型番 | HELIOT 301 |
| 年式 | 1998.8 |
| カテゴリー | 検査・分析装置 |
| シリアル番号 | 3702 |
| 仕様（日本語） | 検出感度：最大で 1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s 測定方式：質量流量／差圧方式 圧力範囲：およそ 0.01 〜 1000 Torr 動作温度：最大 50℃ 重量：39㎏ |
| 管理番号 | K049-0006 |
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