チューニングコントローラー
| メーカー | ダイヘン |
|---|---|
| 型番 | CMC-10A5 |
| 年式 | 2015.8 |
| カテゴリー | 真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, コントローラー |
| シリアル番号 | MFZ087806 |
| 仕様（日本語） | 周波数範囲:2450±30 MHz マッチング精度:1%以内 マッチング速度:2秒以内 |
| 管理番号 | K045-0002-6 |
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