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| メーカー | アドテック |
|---|---|
| 型番 | TX10-D000-00 |
| カテゴリー | 真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 電源, RF電源（高周波電源） |
| シリアル番号 | 10256600111 |
| 仕様（日本語） | 出力 1000 W 13.56MHz（RF） 電源：AC 200V~240v 50-60Hz 外形・重量 幅約498 mm × 奥行約215 mm × 高さ約145 mm 約13 kg マッチングボックス付き 型式：AMVG-1000-JP 電源：~AC 100（50-60 Hz） S/N:10245300224 |
| 管理番号 | K045-0002-4 |
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