ターボポンプコントローラ
メーカー | 大阪真空 |
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型番 | TC353 |
年式 | 2015.7 |
カテゴリー | 真空機器・付属品(半導体装置コンポーネント), コントローラー |
シリアル番号 | AK150510-10 |
管理番号 | K045-0002-39 |
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