ピラニ真空計
| メーカー | キヤノンアネルバ |
|---|---|
| 型番 | M‑311HG‑SP/C70 |
| カテゴリー | 真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 真空計, ピラニ真空計 |
| シリアル番号 | TX1532047G |
| 仕様（日本語） | 測定方式 熱陰極型イオンゲージ（ベーキング可能） 圧力測定範囲 1×10⁻⁷ Pa ～ 10 Pa 測定再現性 ±10％（1×10⁻⁶ ～ 1×10⁻¹ Pa） アナログ出力 0〜10 V（対数リニア、1 V/デケード） 出力精度 ±0.2 V以内（1×10⁻⁶ ～ 1×10⁻¹ Pa） 応答速度 100 ms以内 セットポイント 2点、リレー出力（30 V DC / 1 A max） エミッション電流 4段階切替式（20 µA, 66 µA, 200 µA, 660 µA） 入力電圧 DC +20 V ～ +28 V 消費電力 約12 W（max） 最大ケーブル長 200 m（線径1 mm²使用時） 出力コネクタ D-sub 9ピン オス 使用温度範囲 5 ～ 50 ℃ 保存温度範囲 -20 ～ 70 ℃ ベーキング温度 ～300 ℃（センサー部のみ） 耐放射線性 高耐性（ただし明示値は記載なし） フランジ形状 φ70 ICF（C70モデルの特徴） サイズ（本体） 約110 × 70 × 50 mm（突起部除く） 質量 約600 g（センサー含む） 規格対応 CEマーキング、RoHS指令準拠、IP40 |
| 管理番号 | K045-0002-30 |
価格はお問い合わせください
在庫確認・ご質問などお気軽に問い合わせください
掲載していない機器もお探します！