ピラニ真空計
| メーカー | キヤノンアネルバ |
|---|---|
| 型番 | M-311HG-SP/N16 |
| カテゴリー | 真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 真空計, ピラニ真空計 |
| シリアル番号 | TX1572114G |
| 仕様（日本語） | 圧力測定範囲 1×10⁻⁷ Pa ～ 10 Pa 入力電圧 DC 20～28 V 消費電力 約 12 W アナログ出力 0～10 V セットポイント 2点リレー出力 入出力コネクタ D-sub 9ピン（Male） 最大ケーブル長 200 m（断面積 1 mm²） 使用温度範囲 5～50 ℃ 保存温度範囲 ‑20～70 ℃ センサータイプ ミニチュア B‑Aゲージ（MG‑2Iシリーズ） センサー材質 フィラメント：Y₂O₃/Ir、ケース：SUS304 外形寸法 110 × 70 × 50 mm フランジ形状 NW16, NW25, ICF34, ICF70 対応規格 CEマーキング、RoHS、IP40 |
| 管理番号 | K045-0002-29 |
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