ピラニ真空計
| メーカー | キヤノンアネルバ |
|---|---|
| 型番 | M-350PG-SP/N16 |
| カテゴリー | 真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 真空計, ピラニ真空計 |
| シリアル番号 | 22506 |
| 仕様（日本語） | 入力電圧：DC +14V ～ +30V、消費電力：1W 最大ケーブル長：200 m（0.34 mm²）対応（表示器接続時は100 mまで） 使用温度：5〜60℃、保存温度：–20〜70℃ 耐ベーキング温度： Oリング仕様：＜150℃ 金属シール仕様：＜300℃（ゲージヘッドのみに適用） 過負荷耐圧力：1 MPa（不活性ガス・絶対圧） |
| 管理番号 | K045-0002-27 |
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