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プラズマクリーナー

管理番号K039-0003
メーカーサムコ
型番PC-1100
年式2013年式
カテゴリーアッシング
ウェハーサイズ 4inch
シリアル番号34A3004
仕様(日本語)※真空ポンプ付属無し
プロセスガス 0.1MPa(G)
N2 ガス 0.5MPa(G)
圧縮空気 0.5~0.7MPa(G)
電源 AC 200V/3Φ 30A
アース D種接地
高周波電源 13.56 MHz 水晶発振 最高出力600 W (使用上限 500 W)
排気系 ドライポンプ: 1000 L/min
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