プラズマクリーナー
| 管理番号 | K039-0001 |
|---|---|
| メーカー | サムコ |
| 型番 | PC-1100 |
| 年式 | 2012年式 |
| カテゴリー | アッシング |
| ウェハーサイズ | 4inch |
| シリアル番号 | 34A3003 |
| 仕様（日本語） | ※真空ポンプ付属無し プロセスガス 0.1MPa(G) N2 ガス 0.5MPa(G) 圧縮空気 0.5~0.7MPa(G) 電源 AC 200V/3Φ 30A アース D種接地 高周波電源 13.56 MHz 水晶発振 最高出力600 W (使用上限 500 W) 排気系 ドライポンプ: 1000 L/min |
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