スパッタリング装置
| 管理番号 | K036-0001 |
|---|---|
| メーカー | アルバック |
| 型番 | MNS-2000-DC(S) |
| 年式 | 2004年式 |
| カテゴリー | PVD |
| シリアル番号 | MB03-1047 |
| 仕様（日本語） | 到達真空 1×10-5Pa 基板 最大56mmφ ターゲット 50mmφ×5mmt 電源 RF 500W 加熱温度 ～800℃ ドライポンプ 型式：DVS-321 |
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