ドライエッチング装置
| メーカー | パナソニック |
|---|---|
| 型番 | E650I |
| 年式 | 2018 |
| カテゴリー | 半導体中古装置（前工程）, エッチング装置, ドライエッチング装置 |
| 仕様（日本語） | 電源：三相 AC 200 / 208 / 220 / 230 / 240 ±10 V、50 / 60 Hz、21.00 kVA 空圧源：0.5 MPa ～ 0.7 MPa、250 L/min N₂ 源： 0.1 MPa ～ 0.2 MPa、50 L/min サイズ：W 1 350 mm × D 2 230 mm × H 2 000 mm 重量：2000KG ドライポンプ 3台 型式：EST10N 型式：ESR20N 型式：ESR20N チラー 3台 型式：CH402B 型式：HRS012-AN-10 S/N:1129362401171219 |
| 管理番号 | K033-0005 |
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