ドライエッチング装置

メーカーパナソニック
型番E650I
年式2018
カテゴリー半導体中古装置(前工程), エッチング装置, ドライエッチング装置
仕様(日本語)電源:三相 AC 200 / 208 / 220 / 230 / 240 ±10 V、50 / 60 Hz、21.00 kVA
空圧源:0.5 MPa ~ 0.7 MPa、250 L/min
N₂ 源: 0.1 MPa ~ 0.2 MPa、50 L/min
サイズ:W 1 350 mm × D 2 230 mm × H 2 000 mm
重量:2000KG
ドライポンプ 3台 型式:EST10N 型式:ESR20N 型式:ESR20N
チラー 3台 型式:CH402B 型式:HRS012-AN-10 S/N:1129362401171219
管理番号 K033-0005