マスフローコントローラ

メーカー堀場エステック
型番SEC-Z511X
年式2018
カテゴリー真空機器・付属品(半導体装置コンポーネント), コントローラー
仕様(日本語)GAS N2 50SCCM
管理番号 K033-0005-35
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