マスフローコントローラ
| メーカー | 堀場エステック |
|---|---|
| 型番 | SEC-Z511X |
| カテゴリー | 真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, コントローラー |
| 仕様（日本語） | GAS SF6 100SCCM |
| 管理番号 | K033-0005-31 |
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