ターボコントローラー
| メーカー | 大阪真空工業 |
|---|---|
| 型番 | TC010M |
| 年式 | 2017.11 |
| カテゴリー | 真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, コントローラー |
| シリアル番号 | V3FC17A01 |
| 管理番号 | K033-0005-19 |
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