コントローラー
| メーカー | Megatorr |
|---|---|
| 型番 | AP-420 |
| カテゴリー | 真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, コントローラー |
| シリアル番号 | MJE20119224 |
| 管理番号 | K033-0005-14 |
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