キャノントッキ
| メーカー | 日本電子 |
|---|---|
| 型番 | BS-72020ICE |
| カテゴリー | 真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 電源 |
| シリアル番号 | BS1004500030003 |
| 仕様（日本語） | 電子銃接続数：1電子銃仕様 最大出力：10 kW 加速電圧：-2 ～ -10 kV エミッション電流：0 ～ 1 A 最大走査周波数：X軸/Y軸： 1 kHz 入力電源：3相 AC180 ～ 242 V 15kVA 質量：約180 kg 外形寸法：570 (W) ×700 (D) ×1,400㎜ (H) |
| 管理番号 | K021-0011-1 |
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