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| メーカー | キヤノントッキ |
|---|---|
| 型番 | CME-70 |
| 年式 | 2013 |
| カテゴリー | 半導体中古装置（前工程）, 成膜装置, 蒸着装置 |
| ウェハーサイズ | 4inch |
| シリアル番号 | 01130468-1 |
| 仕様（日本語） | 装置構成：バッチ式 基板回転方式 基板ドーム：MAXΦ600 Φ4 ウエハー対応 蒸発源：電子銃方式 ルツボ4点or6点 操作：全自動（排気・成膜） ドライポンプ 2台 型式：PMB-003CM 型式：VD60 クライコンプレッサー 型式：C30VR |
| 管理番号 | K021-0010 |
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