電源
| メーカー | ASTECH |
|---|---|
| 型番 | ATL-100 |
| カテゴリー | 真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 電源 |
| シリアル番号 | 89-12-365 |
| 管理番号 | K015-0446 |
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