高周波電源
| メーカー | ENI |
|---|---|
| 型番 | PL-2HF-11451-55 |
| カテゴリー | 真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 電源, RF電源（高周波電源） |
| シリアル番号 | 2840 |
| 仕様（日本語） | 故障品 |
| 管理番号 | K015-0445 |
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