RF電源

メーカー	ENI
型番	OEM-12B
カテゴリー	真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 電源, RF電源（高周波電源）
シリアル番号	11287
仕様（日本語）	44kg
管理番号	K015-0352

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