コントローラ
| メーカー | Tegal |
|---|---|
| 型番 | CR1296-00101 |
| カテゴリー | 真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, コントローラー |
| シリアル番号 | 15745 |
| 管理番号 | K015-0350 |
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