コントローラ
| メーカー | バリアン真空 |
|---|---|
| 型番 | 9699454S008 |
| カテゴリー | 真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, コントローラー |
| シリアル番号 | 209710 |
| 仕様（日本語） | Turbo-V 1000 HT |
| 管理番号 | K015-0349 |
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