マスフローコントローラ
| メーカー | Tylan |
|---|---|
| 型番 | PC-5900U |
| カテゴリー | 電気部品 |
| シリアル番号 | XA01103011 |
| 仕様（日本語） | HE 50sccm |
| 管理番号 | K015-0278 |
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