電容式圧力計

メーカーエム・ケー・エス
型番622
カテゴリー真空機器・付属品(半導体装置コンポーネント), 真空計
仕様(日本語)圧力範囲 1–1000 Torr フルスケール(圧力レンジ選択可)
精度 ±0.25 % of Reading(1–1000 Torr)
出力 アナログ信号 0–10 V(10 kΩ以上負荷)
温度特性 ゼロ点:0.005–0.015 %FS/°C
スパン:0.04 %Reading/°C
リニアリティ分解能 0.001 % FS
応答速度 <20 ms(高速応答)
過圧耐性 最大45 psia(約3.1 bar)
使用材料 インコネル&インコロイ合金(耐腐食性あり)
電源 ±15 VDC, 約35 mA
接続部 5ピン端子台(622D等)
動作温度 0–50 °C
管理番号 K015-0241
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