電容式圧力計
メーカー | エム・ケー・エス |
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型番 | 622 |
カテゴリー | 真空機器・付属品(半導体装置コンポーネント), 真空計 |
仕様(日本語) | 圧力範囲 1–1000 Torr フルスケール(圧力レンジ選択可) 精度 ±0.25 % of Reading(1–1000 Torr) 出力 アナログ信号 0–10 V(10 kΩ以上負荷) 温度特性 ゼロ点:0.005–0.015 %FS/°C スパン:0.04 %Reading/°C リニアリティ分解能 0.001 % FS 応答速度 <20 ms(高速応答) 過圧耐性 最大45 psia(約3.1 bar) 使用材料 インコネル&インコロイ合金(耐腐食性あり) 電源 ±15 VDC, 約35 mA 接続部 5ピン端子台(622D等) 動作温度 0–50 °C |
管理番号 | K015-0241 |
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