電容式圧力計
| メーカー | エム・ケー・エス |
|---|---|
| 型番 | 626 |
| カテゴリー | 真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 真空計 |
| 仕様（日本語） | 精度 ±0.15 %（フルスケール） 測定範囲 数 10⁻⁴ Torr～数 1,000 Torr 応答速度 <10ms 温度係数（ゼロ/スパン） 約±0.01 %FS/℃、±0.02 %Reading/℃ 出力 アナログ 0–10 V、4–20 mA／デジタル RS‑232, RS‑485 等 接続部材・耐食仕様 316Lステンレス＋インコネル耐食合金 過圧耐性 最大約3.1 bar（45 psia）まで対応 動作温度範囲 約15～40 ℃ ※627/629のみ |
| 管理番号 | K015-0240 |
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