コントローラ
| メーカー | MECS |
|---|---|
| 型番 | UTV430 |
| カテゴリー | 真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, コントローラー |
| シリアル番号 | 550714A01 |
| 仕様（日本語） | ウェーハ転送ロボットのコントローラ |
| 管理番号 | K015-0361 |
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