コントローラ
メーカー | MECS |
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型番 | UTV430 |
カテゴリー | 真空機器・付属品(半導体装置コンポーネント), コントローラー |
シリアル番号 | 550714A01 |
仕様(日本語) | ウェーハ転送ロボットのコントローラ |
管理番号 | K015-0361 |
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