コントローラ

メーカーMECS
型番UTV430
カテゴリー真空機器・付属品(半導体装置コンポーネント), コントローラー
シリアル番号550714A01
仕様(日本語)ウェーハ転送ロボットのコントローラ
管理番号 K015-0361
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