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| メーカー | ダイヘン |
|---|---|
| 型番 | AST-201CHA |
| 年式 | 1994 |
| カテゴリー | 真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, コントローラー |
| シリアル番号 | 9B236009 |
| 管理番号 | K015-0090 |
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