RF電源

メーカー	パール工業
型番	RP-50B-2M-C
年式	1990
カテゴリー	真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 電源, RF電源（高周波電源）
シリアル番号	902821318
管理番号	K015-0021

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