TMPコントローラー
| メーカー | エドワーズ |
|---|---|
| 型番 | H600C2 |
| 年式 | 1993 |
| カテゴリー | 真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, コントローラー |
| シリアル番号 | 1811A |
| 管理番号 | K015-0012 |
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