ピラニー真空計

メーカーキヤノンアネルバ
型番M-012DM
カテゴリー真空機器・付属品(半導体装置コンポーネント), 真空計, ピラニ真空計
仕様(日本語)測定範囲:200 Pa ~ 0.1 Pa(1×10⁻¹ Pa)
出力信号:DC 0~10 mV
電源:AC 90~264 V、50/60 Hz
付属品:真空ゲージ接続用ケーブル
サーモカップル真空計測定球:TG-550B
管理番号 K014-0029
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