RF電源
| メーカー | ADVANCED ENERGY |
|---|---|
| 型番 | F-10 |
| 年式 | 2001 |
| カテゴリー | 真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 電源, RF電源（高周波電源） |
| シリアル番号 | 219325 |
| 仕様（日本語） | 入力: 208VAC 50/60Hz 1PH 出力: 1000W 50-460KHz |
| 管理番号 | K014-0010 |
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