RF電源

メーカーADVANCED ENERGY
型番F-10
年式2001
カテゴリー真空機器・付属品(半導体装置コンポーネント), 電源, RF電源(高周波電源)
シリアル番号219325
仕様(日本語)入力: 208VAC 50/60Hz 1PH
出力: 1000W 50-460KHz
管理番号 K014-0010