オゾン発生器
| メーカー | エム・ケー・エス |
|---|---|
| 型番 | AX8407B |
| カテゴリー | 真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 電源 |
| 仕様（日本語） | オゾン出力：最大335 g/Nm3 供給ガス 酸素:グレード6以上 O2、 窒素:100〜1000ppm グレード5以上 N2 公称セル圧(送達)：15 - 45 psig (100 - 310 kPa)圧力：20 - 30 psig 寸法：483 x 445 x 267 mm 質量：59kg |
| 管理番号 | K004-0079 |
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