TMPコントローラ
| メーカー | エドワーズ |
|---|---|
| 型番 | SCU-H600C |
| 年式 | 2002 |
| カテゴリー | 真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, コントローラー |
| シリアル番号 | 0000047535 |
| 管理番号 | K004-0073 |
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