チャンバーユニット
| 管理番号 | K004-0059 |
|---|---|
| メーカー | BROOKS AUTOMATION |
| 型番 | 002-8500-55 |
| カテゴリー | その他 |
| シリアル番号 | 0611-13037 |
| 仕様（日本語） | 搬送ロボット：MagnaTran７ チャンバー：ブルックスシステム ターボ分子ポンプ：大阪真空 TG350FRAB |
価格
3,000,000円
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