チャンバーユニット

メーカーBROOKS AUTOMATION
型番002-8500-55
カテゴリー真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）
シリアル番号0611-13037
仕様（日本語）搬送ロボット：MagnaTran７
チャンバー：ブルックスシステム
ターボ分子ポンプ：大阪真空　TG350FRAB
管理番号 K004-0059
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