チューニングコントローラ
| メーカー | ダイヘン |
|---|---|
| 型番 | ACP-100T |
| カテゴリー | 真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, コントローラー |
| シリアル番号 | MF253307 |
| 仕様（日本語） | 電源：1相100V 50/60Hz チューニングコントローラーユニット：CMC-10 13.56MHz |
| 管理番号 | K004-0058 |
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