RF電源
メーカー | ダイヘン |
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型番 | AGA-23D |
年式 | 2007 |
カテゴリー | 真空機器・付属品(半導体装置コンポーネント), 電源, RF電源(高周波電源) |
シリアル番号 | TD1104B1 |
仕様(日本語) | Frequency:60MHz Rated Power:2300W 200V 30A |
管理番号 | K004-0048 |
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