RF電源

メーカーダイヘン
型番AGA-23D
年式2007
カテゴリー真空機器・付属品(半導体装置コンポーネント), 電源, RF電源(高周波電源)
シリアル番号TD1104B1
仕様(日本語)Frequency:60MHz
Rated Power:2300W
200V 30A
管理番号 K004-0048
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