RF電源

メーカー	ダイヘン
型番	AGA-23D
年式	2007
カテゴリー	真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 電源, RF電源（高周波電源）
シリアル番号	TD1103B1
仕様（日本語）	Frequency:60MHz Rated Power:2300W ～200V 30A
管理番号	K004-0047

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