自動調芯機能付パルスステージコントローラ
| メーカー | 福興システム |
|---|---|
| 型番 | AT-643 |
| 年式 | 2013 |
| カテゴリー | 真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, コントローラー |
| シリアル番号 | 0006 |
| 仕様（日本語） | "電源 AC 100V±10% 3A (50/60Hz) パルスモータ制御機能 適合モータ:5相ステッピングモータ 対応センサ:メカニカルまたは光電式 最高速度:100,000pulse/sec 最大制御軸数:3 最大記憶位置数:21 光出力検出機能 光出力検出レンジ:30mA / 3.0mA / 0.3mA ※PD 電流換算値 検出電流分解能:各レンジの 1/30000 最大バイアス電圧:10V ※極性指定可能 バイアス電圧設定分解能:0.1V" |
| 管理番号 | K004-0030 |
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