UVオゾンクリーナー
| メーカー | サムコ |
|---|---|
| 型番 | UV-300 |
| 年式 | 2006 |
| カテゴリー | 半導体中古装置（前工程）, エッチング装置, アッシング装置 |
| ウェハーサイズ | 4inch |
| シリアル番号 | 28A2127 |
| 仕様（日本語） | "Φ370㎜、AL製 基板回転機構付き 基板加熱：室温~300℃ UVランプ：主波長253.7nm及び184.9nm ガス導入系：酸素(プロセス用) 窒素(反応室内パージ用)" AC100V 2KVA 50Hz |
| 管理番号 | K004-0007 |
商談中
在庫確認・ご質問などお気軽に問い合わせください
掲載していない機器もお探します！