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ドラフトチャンバー

管理番号	K004-0004
型番	－
カテゴリー	その他
ウェハーサイズ	その他
仕様（日本語）	QDR/冷却/2000x1200 酸アルカリ/３槽槽の寸法：200×200×200㎜

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