ドラフトチャンバー
| 型番 | － |
|---|---|
| カテゴリー | その他, クリーンルーム, 工作機械, 工場設備 |
| ウェハーサイズ | other |
| 仕様（日本語） | QDR/冷却/2000x1200 酸アルカリ/３槽 槽の寸法：200×200×200㎜ |
| 管理番号 | K004-0004 |
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