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| メーカー | コクサン |
|---|---|
| 型番 | SPD180-RN |
| 年式 | 2021.05 |
| カテゴリー | スピンドライヤー |
| ウェハーサイズ | 8inch |
| シリアル番号 | 2105266 |
| 仕様（日本語） | https://kokusan.co.jp/products/spd-180ご参照ください |
| 管理番号 | A4016 |
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