真空バルブ

メーカーSMC
型番XLA-40G-M9
カテゴリー真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, コンポーネント
管理番号 A2009
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Products

EPC７用 メインPCユニット

メーカー
東京エレクトロン
型　番
3R87-012696-11

石英ピン

メーカー
東京エレクトロン
型　番
5105-400032-B1

石英栓

メーカー
東京エレクトロン
型　番
3805-421093-B1

ベアリング

メーカー
アプライド・マテリアルズ
型　番
0190-76095

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