TANK,LOWER WATER SCRUBBER,G5

メーカー荏原製作所
型番A-0620-037-6100
カテゴリー半導体中古装置(前工程)
ウェハーサイズother
シリアル番号A18407201
状態未使用品
管理番号 A1007

荏原 エバラ エバラ タンク EBARA ebara 荏原製作所 CMP cmp